FEI公司申请电子显微镜高压组件用绝缘气体专利, 提高电子粒子系统的绝缘性能

发布日期：2026-04-29 22:34:23 点击次数：117

国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“电子显微镜高压组件用绝缘气体”的专利，公开号CN121839512A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本文提供了一种电子粒子系统，包括电子源系统、样品室和电子束镜筒，该电子源系统包括容纳在由绝缘气体占据的高压组件体积内的高压组件。本文还提供了一种带电粒子系统，包括带电源系统、样品室和电子束镜筒，该带电源系统包括容纳在由绝缘气体占据的高压组件体积内的高压组件。本文还提供了一种在电子粒子系统的高压组件中使用绝缘气体的方法。